作好后勤，保证无尘室的正常工作环境

作好后勤，保证无尘室的正常工作环境

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半导体和液晶制造厂对内部的温度、湿度和洁净度等有着及其特殊的要求，厂务工程部作为制造厂后勤单位，承担了对无尘室的水电气全年24小时正常运行的责任。“厂务是生产线生产设备的源头，任何一套系统出现问题，都会直接影响到生产，所以我们厂务工作不能有一点儿中断和故障。”
　　无尘室要求温度在23℃±0.5℃，湿度为45%±2.5%，生产区为0.1级，维修区为1000级。为了防止和减少污染物的进入，需要无尘室保持20Pa的正压，和舰厂务工程部一位经理介绍说。TFT-LCD后段组装厂对工作环境的要求虽然没有半导体和TFT前段高，但也需要无尘室设计。友达公司洁净度为1万到10万级，温度为22℃±2℃，湿度为60%±7%。
　　为了保证这一环境，无尘室通常采用MAU+FFU的设计，即作为主送风的MAU将具有一定洁净等级和温湿度的风送到无尘室的天花板，由于风力已有减弱，再搭配小型的FFU再次送风，从而达到无尘室的温湿度和正压等要求。
　　维持无尘环境需要用到特殊的多层过滤网、密闭式马达和空调箱等，其中被两位采访者统一称为“主要源  
头”的是冷水机组。因为不论无尘室还是办公室空调系统都要用到冰水（冷冻水），它是维持温湿度的*为关键的元素
　　“当初选择冷水机组时经过了慎重地考虑。除了设备的性能和可靠性，还要考虑设备的运转费用和节能效果。再好的设备也会坏，因此售后服务是建厂时评估的一项重点。”半导体制造厂建成后通常需要使用10年以上，象冷水机组这样的大负载设备，夏天大约占整体耗电的20％。在这种情况下，节能和高效的设计就成为了用户需要重点考虑的问题。
　　“因为任何厂务设备出了问题都有可能影响生产的情况，所以在选购设备时不会仅考虑价格因素，还会考虑设备品质。为了保证24小时正常运转，还需要设置备机，除非备机和主机同时坏掉，否则不会出现大问题。另外印象*深的是要与所有供应商保持良好的关系，在发生紧急状态时，供应商能够迅速赶到现场。”
　　在设备的保养和问题的预防方面，“厂商是专才，必须与厂商建立良好的沟通途径，保证大问题没有，小问题不影响生产。”网络时代，一些关键设备厂商已经利用了网络，实现对设备的24小时远程监控，与制造商一起将问题消灭在萌芽状态。


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