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净化工程分类

  乱流式 (Turbulent Flow)
  空气由空调箱经风管与清理室内之空气过滤器(HEPA) 进入清理室,并由清理室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于清理室等级1,000-100,000级。优点:构造简单、系统建造成本低,清理室的扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘运作台,提高清理室等级。缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之清理度,往往须耗时相当长一段时间。
  层流式(Laminar)
  层流式空气气流运动成一均匀之直线型,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于清理室等级需定较高的环境使用,一般其清理室等级为Class1~100。其型式可分为二种:
  (1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。 www.wjdinghao.cn 净化工程
  优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。
  (2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之清理度,在制程中或运作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它运作区域。
  优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。 乱流式缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。复合式(Mixed Type):复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超清理之空气。
  (1)清理隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或运作区域100%覆盖使清理度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之运作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响运作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。清理隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
  (2)清理管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将清理度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之清理度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为*适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
  (3)并装局部清理室(Clean Spot):将清理室等级10,000~100,000之乱流清理室内之产品制程区的清理度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;清理运作台、清理运作棚、清理风柜即属此类。
  局部清理工程清理运作台:等级Class 1~100级。
  清理运作棚:为在乱流式之清理室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之清理空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。

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